تُستخدم أدوات المعالجة الفراغية لتحريك أو وضع الرقائق أو العناصر في غرف مفرغة متخصصة ولتطبيقات مناولة المواد. أنها توفر مرونة متزايدة لأنه لا يتم استخدام الروابط الصلبة. تشتمل بعض مناولات الفراغ على أجهزة تركيب أو مؤثرات نهائية. وتشمل الآخرين أقفال التحميل والعصي المتمايلة. في كثير من الأحيان، يتم استخدام مناورات الفراغ بالتزامن مع غرف الفراغ. معالجات الرقاقة أو الروبوتات هي نوع آلي من مناولات الفراغ لنقل الرقاقات أو الركائز داخل أو خارج PVD أو CVD أو حفر البلازما أو غرف المعالجة الفراغية الأخرى. لإنشاء غرفة مفرغة، يقوم محرك فراغ أو محرك مفرغ بضخ الهواء فعليًا من الوعاء حتى يتم تحقيق الضغط الجوي الفرعي المطلوب. إذا كانت غرفة التفريغ تحتوي على فراغ عالي جدًا، فيجب استخدام مناور فراغ عالي جدًا ومحرك فراغ عالي جدًا.
1. التصميم الفريد للمصاصة يمكن أن يجعل الجسم يرتفع أو ينخفض حسب الرغبة، ولكن أيضًا يدور في أي اتجاه للمقعد الثابت للمصاصة لجعل العملية مريحة ودقيقة. يوفر تصميم جهاز التحكم عن بعد الراحة للتشغيل ويضمن سلامة المستخدمين.
2. يعتمد مشبك آلة الشفط الفراغي على لوحة الشفط المستوردة، مع قوة امتصاص قوية، وسلامة عالية وحماية المنتجات من التلف.
3. يمكن للرافعة الفراغية أن تحمل العناصر بسهولة ذات سطح هش وصعب الرفع وأملس لتحسين الكفاءة وتقليل القوى العاملة وتوفير تكاليف المؤسسة.